四甲基氢氧化铵25%水溶液（Tetramethylammonium Hydroxide 25% Solution，简称TMAH，CAS号75-59-2）是一种强有机碱，分子式C?H??NO（以无水计），分子量91.15，外观为无色至淡黄色透明液体，密度约1.02 g/cm3（25℃），沸点110℃（分解），pH值≥13（25%水溶液）。其水溶液具有高导电性（电导率>50 mS/cm），与酸剧烈反应并释放热量，需避光保存于聚乙烯容器中（避免玻璃腐蚀）。工业级产品纯度≥99.9%（离子色谱法），金属杂质（如Na?、K?）含量≤1 ppm，广泛应用于半导体和电子工业。

核心优势与应用：

微电子蚀刻关键试剂

作为光刻胶显影剂（0.1%-2.5%浓度），可精准去除曝光区光刻胶（分辨率达10 nm以下），优于NaOH等无机碱（无金属离子污染）；

硅晶圆各向异性蚀刻（20%-25%溶液，蚀刻速率50-100 nm/min），表面粗糙度<0.5 nm（AFM测定）。

有机合成高效催化剂

碱性强度（pKb 4.2）高于氨水，促进酯交换反应（如生物柴油制备），转化率提升15%-20%；

作为相转移催化剂，加速SN?反应（如 Williamson合成醚）。

安全与环保特性

分解产物为三甲胺和甲醇（LD?? 180 mg/kg，大鼠口服），可通过活性炭吸附处理；

相比KOH/NaOH体系，无金属残留（符合SEMI C12标准）。

操作时需佩戴防溅护具，避免吸入蒸气（TLV 2 ppm）。其在高端制造和绿色化学中的不可替代性，使其成为高附加值精细化学品代表。