常用名 二氯硅烷 英文名 Dichlorosilane
CAS号 4109-96-0 分子量 101.00700
密度 1,22 g/cm3 沸点 8.3 °C(lit.)
分子式 Cl2H2Si 熔点 ?122 °C(lit.)
MSDS
中文版
美版
闪点 -37°C
信号词 Danger

二氯硅烷用途
【用途一】
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
【用途二】
用于半导体制造中,尤其是外延法工艺作为硅源。
二氯硅烷名称
中文名 二氯硅烷
英文名 dichlorosilicon
中文别名 三氯矽烷
英文别名 更多
 二氯硅烷物理化学性质
密度 1,22 g/cm3
沸点 8.3 °C(lit.)
熔点 ?122 °C(lit.)
分子式 Cl2H2Si
分子量 101.00700
闪点 -37°C
质量 99.93030
LogP 0.46280
外观性状 无色气体
蒸汽密度 3.5 (vs air)
蒸汽压 1254 mm Hg ( 20 °C)
储存条件
储存注意事项储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。