常用名 硅烷 英文名 Silicon tetrahydride
CAS号 7803-62-5 分子量 32.11730
密度 1.114 沸点 -112oC
分子式 H4Si 熔点 -185oC
MSDS N/A 闪点 N/A
硅烷用途
1.电子工业用作氮化硅、外延材料等的摻杂源。半导体超纯硅原料,是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源,并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。 2. 用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学气相沉积、非晶硅薄膜淀积。

硅烷物理化学性质
密度 1.114
沸点 -112oC
熔点 -185oC
分子式 H4Si
分子量 32.11730
质量 32.00820
外观性状 无色
蒸汽密度 1.1 (vs air)
储存条件 1.贮存于干燥、阴凉、通风的库房内。钢瓶应该直立固定贮存。 2.要保护钢瓶,防止 温度和天气的影响。不可与易燃品、氧化剂共存混运,远离火源。
稳定性
避免强氧化剂,强碱,卤素。标准状态下气体密度为1.44g/L,液体的相对密度为0.68(-185℃)。蒸气压11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。红外光谱波长2191cm-1、914cm-1。